电学气体检测系统的使用说明:
1.制备好待测片子后,打开4个开关(电脑、稳压器、气体调节系统和电表),放入片子后,打卡电脑文件夹I-t,打开检测软件;
2.进入软件后,设置电压(3V,1A,窗口COM9,时间99999s,步长和次数不变(2,9)),拧紧右边的气阀后启动软件观察电流图,确定片子放好后,60s后打开抽气泵(灰白相间,左上角那组,白泵的开关),松开气阀开始抽气;
3.抽完气后,在气控系统中控制气体流量,并拧开气瓶开关,开始送气(此时电流逐渐稳定,时间约为6000s,具体看实际情况)。同时,送入的气体总流速需设置为500sccm(即A,B,C三个送气口的气体流速加起来为500sccm,具体浓度需要相关计算),缓慢调节气阀使得测试时内置气压为1k-15kPa,并达到平衡(气压最多3min内变化1kPa,尽量维持不变);
4.测试完后先通过气控系统停止通入气体,并拧紧气阀后关闭气泵和气瓶,取出片子后停止测试。